超高真空用 回転導入機
特長
- アルミニウム合金製にて、小型、軽量。
- アルミニウムフランジタイプは、ＩＣＦ規格にて鏡面加工後、イオンプレーディング処理がされている。
- マグネットからのガス放出がない。
- 超高真空対応の仕様。
- 高精度、高分解能（バックラッシュが極めてすくない）。
- クランプ機構付き。
超高真空用 直線導入機
特長
- アルミニウム合金製にて、小型、軽量 。
- アルミニウムフランジタイプは、ＩＣＦ規格にて鏡面加工後、イオンプレーディング処理がされている。
- 超高真空対応の仕様。
- 高精度、高分解能（バックラッシュが極めてすくない）。
- クランプ機構付き。
超高真空用2軸回転導入機
特長
- アルミニウム合金製にて、軽量。
- アルミニウムフランジタイプは、ICF規格にて鏡面加工後、イオンプレーティング処理がされている。
- インナーシャフト･アウターシャフトが独立して回転可能。
- 超高真空対応の仕様。
- モーター駆動可能。
- クランプ機構付き。
超高真空用 XYマニピュレーター
特長
- アルミニウム合金製にて、軽量。
- アルミニウムフランジタイプは、ICF規格にて鏡面加工後、イオンプレーティング処理がされている。
- 超高真空対応の仕様。
- 直線導入機、回転導入機等との併用により多様な運動の伝達及び位置決めが可能。
- クランプ機構付き。
超高真空用 4軸マニピュレーター
特長
- アルミニウム合金製にて、軽量。
- X、Y、Z 、θの4軸タイプ。
- 超高真空対応の仕様。
- アルミニウムフランジタイプは、ICF規格にて鏡面加工後、イオンプレーティング処理がされている。
- 高精度、高分解能。
超高真空用 6軸マニピュレーター
特長
- アルミニウム合金製にて、軽量。
- アルミニウムフランジタイプは、ICF規格にて鏡面加工後、イオンプレーティング処理がされている。
- 超高真空対応の仕様。
- インナーシャフト･アウターシャフトが独立して回転可能。
- 高精度、高分解能。
- 2軸同軸回転タイプなので、多様な運動の伝達及び位置決めが可能であり自公転も可能。
オーダーメイドマニピュレーター
■超高真空用3軸マニピュレーター
軸構成
- Z軸方向リニア
- Z軸中心回転
- Z軸中心回転
■超高真空用5軸マニピュレーター
軸構成
- X軸方向リニア
- Y軸方向リニア
- Z軸方向リニア
- Z軸中心回転
- アオリ
■LN2冷却付5軸マニピュレーター
軸構成
- X軸方向リニア
- Y軸方向リニア
- Z軸方向リニア
- X軸中心回転
- Z軸中心回転
■100kg耐荷重 Z軸ステージ
軸構成
- Z軸方向リニア
■超高真空用搬送ロボット 1
軸構成
- 極座標（回転,X軸方向リニア）
- Z軸方向リニア
■超高真空用搬送ロボット 2
軸構成
- 極座標（回転,X軸方向リニア）
磁気結合式マニピュレーターシリーズ
特長
- 磁気結合式のシール方法を採用しつつ、超高真空対応。
- 高伝達トルクへの対応が可能。
- ベーキング可能（150℃）
- 複雑な軸構成にも、設計製作で柔軟に対応可能。
| 2軸回転・直線導入機 | 2軸回転導入機 | |
|---|---|---|
| 取付フランジ | ICF114 | ICF114 |
| 使用真空度 | 10-7Pa台 | 10-8Pa台 |
| リーク量 | 1×10-11Pa・m3/sec 以下 |
1×10-11Pa・m3/sec 以下 |
| 許容加熱温度 | 150℃ | 150℃ |
| サンプル重量 | 1kg | 30kg(回転軸中心に荷重) |
| インナー軸回転量 | 360°フリー | 360°フリー |
| インナー軸回転精度 | ±0.5° | ±0.5° |
| インナー軸伝達トルク | 0.39N・m | 9.8N・m |
| アウター軸回転量 | 360°フリー | 360°フリー |
| アウター軸回転精度 | ±0.5° | ±0.5° |
| アウター軸伝達トルク | 0.39N・m | 9.8N・m |
| 最小読み取り目盛 | 1° | 0.5° |
| 直線移動量 | 750mm | - |
| 用途 | 試料搬送用 | 自公転治具 |
| 取付方法 | 側面 | 上面 |
| 駆動方法 | 標準：手動 | 標準：手動 |
| オプション：自動 | オプション：自動 |
